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Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量

张大明  李德辉  于硕  张希珍  王菲  鄂书林  
【摘要】:本文使用WVASE32型椭偏仪,对Si基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析;对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm时的折射率进行了准确测量,并根据测量结果对聚合物AWG器件进行了设计,器件通道数为32,工作波长为1.55μm,波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。

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