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大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测

范镝  郑立功  张忠玉  张峰  牛海燕  张学军  
【摘要】:本文介绍了480mmⅹ280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程;并介绍了在研磨过程中的使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mmⅹ280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度峰谷值(PV)由初始的21.7微米收敛到4.62微米,均方根值(RMS)由3.70微米收敛到0.558微米,并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。

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