一种新颖的基于空间位相调制的径向剪切干涉仪
【摘要】:基于空间位相调制的径向剪切干涉仪结构简单并且条纹信号稳定,只需要一幅干涉图就可得到波面位相信息。本文简要介绍了径向剪切干涉仪的原理和结构,分析了基于此系统的空间位相调制、傅立叶变换频谱分析、波面重建技术,提出了一种高精度的可行的波面迭代方法。为了验证空间位相调制和波面迭代方法的正确性和精度,进行了计算机仿真,其结果表明均方根精度优于λ/100。
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|