收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

离子刻蚀矩形位相光栅衍射特性研究

陈洪璆  王杰波  曹向群  
【摘要】:,采用微电子工艺的光刻、离子刻蚀等技术制作用于高密度光盘数据存储系统光学拾取头中分束的位相光栅,并对制得样品进行轮廓形貌和衍射特性测试。这种方法能够有效地控制位相调制深度,从而使得制作的位相光栅满足实际系统的要求。

知网文化
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 陈洪璆;王杰波;曹向群;;离子刻蚀矩形位相光栅衍射特性研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 高华;欧阳敏;周静;刘大禾;;小光栅常数的位相光栅的衍射场偏振特性的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
3 刘彦格;贾向群;李启东;;一种直观、可靠、准确的半定量分析新方法[A];第六次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1990年
4 赵鹭明;王立军;;光栅制备工艺的新进展[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
5 洪从胜;徐春祥;黄海龙;崔一平;;一种新型光信息存储材料—聚对苯撑亚乙烯/SiO_2块状溶胶-凝胶材料[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张康伟;多层衍射光学元件衍射效率特性的研究[D];长春理工大学;2010年
2 黄娟;二元光学在背光照明系统导光板中的应用[D];湖南师范大学;2007年
3 朱林伟;Talbot效应的倒格矢理论及其应用研究[D];山东师范大学;2008年
4 张德祥;飞秒激光加工微光学元件[D];天津大学;2007年
5 骆海军;相位型液晶空间光调制器的研究[D];大连理工大学;2008年
6 康福增;曲面基底衍射光学元件加工工艺研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
7 芦毅;基于光谱色散线扫描的干涉型纳米表面在线测量原理与实验研究[D];北京交通大学;2009年
8 解正东;宽幅衍射图像激光干涉直写系统的设计及应用[D];苏州大学;2007年
9 董辉;多层衍射光学元件应用的研究[D];长春理工大学;2008年
10 朱冀梁;硅表面微光栅结构的纳秒激光干涉刻蚀研究[D];苏州大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978