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设计非球面检测用补偿器应注意的几个问题

郭培基  余景池  
【摘要】:介绍了补偿法检测非球面的原理,以事例说明了在补偿器的设计中应注意:①补偿器中的每个面及其球心都不要位于其前面的光学元件组成的光学系统的焦点附近,以避免其反射光在有效干涉场内与参考光干涉,从而影响检测结果;②补偿器中入射角大的面尽量前移,以降低公差要求;③对补偿器材料的光学均匀性要认真核算以确保最后的检测结果有效。

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