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用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌

耿康  陈新荣  吴建宏  
【摘要】:本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序,并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数,计算了光栅衍射效率在不通曝光时间下的光谱分布曲线,并且用此作为判断光栅形貌的判据,得到了很好的结果。

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