用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌

【摘要】：本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序,并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数,计算了光栅衍射效率在不通曝光时间下的光谱分布曲线,并且用此作为判断光栅形貌的判据,得到了很好的结果。

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前20条

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3	金清理;黄晓虹;颜利芬;王振国;张耀举;;长周期光纤光栅折射率传感器的结构优化[J];光子学报;2011年08期
4	殷可为;黄智强;林妩媚;邢廷文;;二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响[J];光电工程;2011年09期
5	张立超;;多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究[J];光机电信息;2011年07期
6	霍雷;曾晓东;冯喆珺;曹长庆;李彬;;共线型声光可调谐滤波器非互易效应研究[J];光子学报;2011年08期
7	胡兴柳;梁大开;曾捷;方挺;王彦;李丹;;长周期光纤光栅对结构参数的敏感特性[J];光电子.激光;2011年09期
8	李晓兰;张伟刚;张珊珊;范弘建;殷丽梅;;引入调制结构形成的相移长周期光纤光栅研究[J];光学学报;2011年06期
9	路书祥;陈淑芬;邹正锋;付雷;孟彦彬;;声表面波陀螺光读出的优化设计[J];激光与光电子学进展;2011年07期
10	李硕;黄俊斌;顾宏灿;;光纤光栅传感测量中交叉敏感问题及解决方案[J];舰船电子工程;2011年07期
11	郭邦红;刘成有;黄旭光;;基于光纤光栅的石油罐温度参数测试与自动控制系统[J];数字技术与应用;2011年07期
12	美丽古丽;;新一代光纤在大坝监测中的应用前沿[J];价值工程;2011年26期
13	陈鹏程;;长周期光纤光栅的透射光谱特征[J];光谱实验室;2011年04期
14	欧启标;罗文志;秦子雄;曾庆科;;分步迭代算法在LPG折射率特性研究中的应用[J];半导体光电;2011年04期
15	赵保银;段开椋;赵卫;;大模场啁啾光纤光栅的光谱特性(英文)[J];强激光与粒子束;2011年07期
16	陈琦;;光纤光栅传感技术的原理与应用[J];科技信息;2011年19期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	耿康;陈新荣;吴建宏;;用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2	刘全;吴建宏;;光栅的标量衍射理论与耦合波理论的分析比较[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
3	杨德兴;王海滨;赵建林;张鹏;郭夏锐;;层状多重体全息光栅的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
4	张泽全;饶小红;沈国土;蔡继光;庄松林;;亚波长光栅衍射效率滤波特性设计的遗传算法优化[A];全国计算物理学会第六届年会和学术交流会论文摘要集[C];2007年
5	张洁;黄尚廉;闫许;张智海;伍艺;;光栅平动式光调制器的光学特性分析和仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
6	周昌鹤;周斌;刘春泽;高波;沈军;倪星元;;ZrO2凝胶色分离光栅的设计和衍射效率测量[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
7	徐悟生;徐玉恒;王继扬;;Zn:Ho:Fe:LiNbO_3晶体的生长及光折变性能的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
8	杨春晖;王锐;王继扬;;Zn:Ce:LiNbO_3晶体的生长及全息性能的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
9	刘春泽;周斌;周昌鹤;杜艾;沈军;;色分离光栅的溶胶凝胶法制备研究[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
10	李海莲;杨德兴;王昭;殷磊;赵建林;;铌酸锂晶体中写入光学涡旋的体全息光栅研究[A];2009年西部光子学学术会议论文摘要集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

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6	李森森;离轴全息透镜型波分复用元件的设计与制作[D];厦门大学;2007年
7	柯才军;微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术[D];华中科技大学;2005年
8	王英利;有机光致变色材料在全息和光信息处理中的应用研究[D];中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）;2006年
9	谭鑫;13.9nm光栅分束器及相关问题研究[D];中国科学技术大学;2008年
10	易迎彦;反射型体光栅特性研究及在频谱合束中的应用[D];华中科技大学;2011年

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1	何媛;毫米波光栅谱仪的研究[D];电子科技大学;2007年
2	王涛;红外折/衍混合系统衍射效率测试[D];浙江大学;2010年
3	凌卫锋;倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法和制作研究[D];苏州大学;2005年
4	程欣;液晶空间光调制器的相干光学特性及其在数字衍射光学中的应用[D];山东师范大学;2006年
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6	王博;用于波分复用的体全息器件的机理研究[D];北京工业大学;2005年
7	丁婷;激光诱导贵金属掺杂玻璃的微结构变化机理[D];浙江大学;2007年
8	陆改玲;光感应光子晶格折射率调制度的研究[D];内蒙古师范大学;2007年
9	叶慧;不同染料敏化的光致聚合物材料的研究[D];浙江师范大学;2006年
10	孙艳军;八阶二元光学器件的光刻技术研究[D];长春理工大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前8条

1	;全息转移膜谁更优[N];中国包装报;2006年
2	;更轻更小更明亮[N];中国计算机报;2002年
3	谢勇汤建新池宏勋王耀南彭涛;印后纸材透明全息图印刷技术[N];中国包装报;2001年
4	本报记者刘晓冰;激光全息图助汽车企业一臂之力[N];中国汽车报;2005年
5	;光折变三维全息存储技术与存储器[N];中国高新技术产业导报;2006年
6	中达;新型软包装防伪产品[N];中国包装报;2005年
7	记者王燕宁通讯员周虹;宽带光折变存储材料体系首创成功[N];科技日报;2002年
8	薛强王振亮;新型绿色包装材料——彩虹全息纸专版全息纸[N];中国包装报;2002年

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