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一种超小型1×2微机械光开关

曹钟慧  鲍俊峰  吴兴坤  
【摘要】:设计制作了一种非硅基底的1×2微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间3ms,封装尺寸缩小至21mm×16mm×12.6mm,驱动电压5VDC,经5×106次开关重复性测试,性能稳定。

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