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基于铝掩膜技术的32通道氟化聚醚醚酮阵列波导光栅复用器

王菲  李艾泽  孙伟  赵禹  张海明  郑菊  张大明  姜振华  刘式墉  
【摘要】:含氟聚醚醚酮(FPEEK)在1.55μm附近有较低的吸收损耗和较高的热稳定性,是一种优良的制作光波导器件聚合物材料。采用光栅衍射理论对32通道阵列波导光栅(AWG)复用器进行了设计和参数优化,以FPEEK作为波导材料,制作了32通道硅基聚合物阵列波导光栅,通过改变聚合单体的投料比来调整芯层和包层的折射率差。在波导的制作过程中为避免形成梯形或梯脊形波导使用铝掩膜代替传统的光刻胶掩膜进行反应离子刻蚀,使制作出的波导呈很好的矩形结构。采用光纤耦合法对AWG复用器进行测试,在测试系统中使用Peltier型温度控制系统调节AWG的工作温度,可以调节稍有偏移的中心波长。结果表明,室温下器件的通道间隔为0.79nm,中心波长为1548nm。

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