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聚合物光波导热光开关/调制器

鹿飞  宋琼  彭海波  吴伯瑜  张兵  罗淑云  余志滨  
【摘要】:本文介绍了使用聚合物材料制作光波导热光开关/调制器的材料选择、设计方法和制作流程,分析了聚合物材料在热光器件方面的优缺点以及工艺中的具体要求,提供了器件制作的完整工艺流程,并对器件进行了测试,开关功率为10mW,消光比为13.7dB,测试结果表明器件已接近实用化水平。

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