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光栅楔形平板干涉法动态角度测量系统零点的确定

陶卫  浦昭邦  庄志涛  张琢  
【摘要】:针对所研制的光栅楔形平板干涉动态角度测量系统,提出了一种确定动态测量零点的新方法。利用干涉法找到360°自然角度基准中光程差达到最大和最小的特殊点,作为动态测量时的固定零点。采用这种标定方法不需要另外增加光路,结构简单,操作方便。实验表明,定位精度优于0.5″。

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