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激光波前的剪切测试

王青  陈磊  吴帧  
【摘要】:介绍了利用剪切干涉技术,研制一个对染料激光器出射光束的波前进行评价的系统。考虑到染料激光器的出射波前基本质量、功率与光斑大小等特点,系统选择了三平板剪切干涉作为基本干涉光路和一阶微分法被面复原算法;讨论了优化和工程化方法——对单幅干涉图进行自动数字化采集的智能化判断技术,包括了系统标定、图象阴影自动校正、直方图分析辅助二值化阈值的选取和自动修像与断点连接等,在正常测试过程中基本不需要人工干预。研制成功的三平板剪切数字波面干涉仪,系统的重复性也到了0.02λ,测试精度优于0.05λ(RMS)。

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