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激光直接写入系统曝光量分布分析

谢永军  卢振武  李凤有  翁志成  赵晶丽  
【摘要】:基于直角坐标激光直接写入系统和极坐标激光直接写入系统,分别给出了曝光量分布的计算公式,讨论了曝光量分布和光强分布之间的差别。用曝光量分布预测了显影后抗蚀剂中线条的面形。实验结果与理论分析相吻合。

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