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飞秒激光双光子聚合特征尺度的研究

李焱  亓凤杰  谭登峰  刘大勇  杨宏  龚旗煌  
【摘要】:正更小的特征尺度一直是飞秒激光双光子聚合追求的目标,人们进行了大量研究。对经常使用的 SCR500树脂,人们获得了120nm 的特征尺度,通过掺入淬灭剂, 又将特征尺度降到65nm。如果不掺入淬灭剂,用 SCR500实现双光子聚合,其最小特征尺度可以降到多少?本文通过提高扫描速度和采用二次聚合,将特征尺度降到

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