分子玻璃光致抗蚀剂研究进展

【摘要】：正目前最先进的集成电路加工技术已达到45nm 生产工艺,预计二年内将跨入32nm 技术。在特征尺寸低于50nm 时,传统的化学增幅抗蚀剂的成像表现会遇到一些问题,包括线边缘粗糙度(LER)、图像均匀性和酸扩散控制等,使得抗蚀剂成像表现和分辨率难以满足要求。绝大多数现有的抗蚀剂材料都基于高分子,虽然它们拥有许多有利的特性,如无定形特性、柔性和可加工性等这些成像加

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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王力元;;分子玻璃光致抗蚀剂研究进展[A];2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会论文集[C];2008年
2	王鹏;翟宏峰;;光致抗蚀剂Noculen-10感光特性研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会论文集[C];1999年
3	王跃川;冯宗材;赵凌;陈波;杜春蕾;;微光学用超支化聚酯光致抗蚀剂[A];第五届中国辐射固化年会论文集[C];2001年
4	姜涛;周遂新;于洁;王洛礼;;光致抗蚀剂用酚醛树脂[A];湖北省化学化工学会2006年年会暨循环经济专家论坛论文集[C];2006年
5	山冈亚夫;;利用乙烯基醚的反应制备光致抗蚀剂(英文)[A];2000年非银盐信息记录材料学术报告会论文集[C];2000年
6	丁世昌;;光致抗蚀剂掩模技术在MIC电镀工艺中的应用[A];1987年全国微波会议论文集（下）[C];1987年
7	王力元;郭昕;褚战星;;一种新型193nm正型光致抗蚀剂研究[A];中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集[C];2006年
8	邹应全;;光致抗蚀剂的研究与应用进展[A];2006中国科协年会——数字成像技术及影像材料科学学术交流会论文集[C];2006年
9	任婧;张建红;贺静;张转;曾成鸣;;天然多酚化合物对人红细胞的双重作用[A];中国化学会第26届学术年会化学生物分会场论文集[C];2008年
10	孔繁荣;王力元;;新型缩醛聚合物合成及应用[A];中国化学会第26届学术年会应用化学分会场论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

前4条

1	蔡纯;Ⅲ-Ⅴ族半导体MQW平面波导光器件的研究[D];东南大学;2004年
2	刘建国;耐高温紫外正型光刻胶和248nm深紫外光刻胶的研制[D];华中科技大学;2007年
3	罗维;余甘子干果活性成分的分离鉴定与生理活性研究[D];华南理工大学;2010年
4	陈娟娟;液质联用技术在药用植物活性物质分析研究中的应用[D];浙江大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	何江川;光致抗蚀剂用阳极电泳树脂的合成及其应用研究[D];江南大学;2012年
2	刘世杰;厚胶光刻技术研究[D];四川大学;2004年
3	付兴隆;HPLC在浓缩果汁及加工用助剂相关成分测定中的研究[D];西安理工大学;2010年
4	刘琳;多酚化合物的高效液相色谱—安培检测方法研究[D];西北大学;2006年
5	张欣;多酚化合物抗氧化性的化学—生物学研究[D];东北农业大学;2008年
6	陈瑜;多酚化合物对虾类过敏原免疫活性的影响及抗过敏活性的研究[D];中国海洋大学;2012年
7	张伟伟;抗感染过程中海带组织化学信号及植物抗毒素的研究[D];中国科学院研究生院（海洋研究所）;2003年
8	柯旭;环氧树脂改性超支化聚酯的合成、性能及光致抗蚀剂应用[D];四川大学;2007年
9	孙艳军;八阶二元光学器件的光刻技术研究[D];长春理工大学;2007年
10	崔浩;手机用COF制造工艺关键技术研究[D];电子科技大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;美国开发出清洁芯片的环保新技术[N];中国机电日报;2001年
2	周佳凝;如何基于现有技术以及有限次试验判断发明的创造性[N];中国知识产权报;2011年
3	闻芹堂;新型电子化学品进入快速发展期[N];中国化工报;2000年
4	朱行;茶叶保健功能研究新进展[N];中华合作时报;2003年
5	张庆;食品中的天然酚类抗氧化剂[N];中国化工报;2001年
6	本报记者郑翠平;上海乐众粮油公司败诉[N];中国现代企业报;2009年
7	四川农业大学宾石玉周安国;饲料中的抗营养因子及其处理方法[N];中国畜牧报;2002年
8	余双人;全球电子化学品市场向亚太转移[N];中国化工报;2006年
9	;绿茶可以护肤[N];山西日报;2000年
10	徐铮奎;橄榄油抗癌作用新发现[N];中国医药报;2000年

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