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应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现

李建飞  薛兵  张俊峰  朱小毅  王晓蕾  
【摘要】:正MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)加速度计是采用微机电技术制作的产品,具有体积小、功耗低、外围电路简单等特点,广泛应用于振动检测领域;一些新型倾角仪的设计中也采用MEMS加速度计来记录静态加速度,然后进行后续计算。

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