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MEMS地震计技术研究

胡星星  滕云田  王喜珍  张炼  谢凡  
【摘要】:正1.前言基于机械重锤拾震的"摆"式测震仪虽然有噪声低分辨力高、动态范围大的特点,但在也存在明显的不足:①重量大、体积大;②频带窄;③功耗大;④加工精度要求高,制造成本大;⑤仪器安放要求严格,需

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6 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
7 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
8 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
9 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
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