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基于PSN4文件格式的震动数据采集系统的开发

栗宝鹃  王维波  孟振振  
【摘要】:正1.前言 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术是近二十年微电子技术和机械加工技术发展中的前沿高新领域。利用MEMS技术制造的加速度计芯片作为振动测量技术中的新秀,在地震勘探中已经取得了一定的应用,如I/O公司和Sercel公司已经提供了成套的数字化MEMS检波器及其采集系统。利用高性能的MEMS加速度计,我们开发了三分量MEMS震动传感器。采用的MEMS加速度计

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