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MeV的O离子注入LiNbO3晶体平面波导的退火特性及损伤分布的研究

赵金花  刘涛  郭沙沙  陈明  马宏骥  聂瑞  王雪林  
【摘要】:卢瑟福背散射分析技术(RBS),最早只是应用于对原子核结构的研究。自从二十世纪六十年代发展起来的平面工艺与背散射分析技术结合起来后,背散射分析技术的优点日益显现,得到了更为广泛的应用。背散射分析技术的特长是分析快速,能得出表面下不同种类原子的深度分布,并能进行定量分析。结合沟道效应还能研究单晶样品的晶体完美性。所有这些特点使得背散射分析技术在探测表面杂质、分析杂质的深度分布、薄膜分析以及探测晶格损伤等方面都发挥着不可替代的作用。

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