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氢氦离子注入机的研制

陈立华  崔保群  马瑞刚  郑永男  姜冲  黄青华  马鹰俊  蒋渭生  
【摘要】:介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。

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