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PECVD法沉积类金刚石膜的研究

杨莉  陈强  
【摘要】:以C_2H_2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片和PET膜上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。利用红外光谱(FTIR)和视频光学接触角测量仪(DSA100)对类金刚石薄膜的结构、成分进行了细致的分析;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;同时,透氧测试来研究薄膜的阻隔性能与薄膜的结构之间的关系。另外,还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明,PECVD制备的DLC薄膜比较致密、均匀,有较好的耐磨性能。

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