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火花离子源束靶作用研究

唐平瀛  金大志  向伟  戴晶怡  谈效华  
【摘要】:本文研究了火花离子源引出束流对离子源栅网和靶面的影响。该类型火花离子源采用吸氢电极,其脉冲放电瞬间可以引出安培级束流,研究表明该引出束流近似为高斯分布。在特定的引出条件下,脉冲引出束流对离子源栅网和靶面局部产生了较强的烧蚀作用。文中采用扫描电镜和金相显微镜分析了栅网和靶面烧蚀区域的大小和材料变化情况,采用数值模拟方法比较了不同引出条件下脉冲引出束流分布,并设计了不同的实验来揭示栅网和靶面烧蚀作用的主要成因。数值模拟和实验研究表明,除了离子束对栅网和靶面的作用外,靶压反向时产生的电子束更容易形成很强的聚焦束,是栅网和靶面局部烧蚀的主要原因。通过改进电源和束流光学系统设计,可以减少甚至消除这一影响。

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1 唐平瀛;金大志;向伟;戴晶怡;谈效华;;火花离子源束靶作用研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
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