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全方位离子注入与沉积批量处理技术

汤宝寅  王浪平  
【摘要】:主要介绍全方位离子注入与沉积批量处理对设备的要求以及相关设备的研制,球形、圆柱体、内表面等零件的全方位离子注入与沉积批量处理方法;以及全方位为离子注入与沉积的工业化应用的一些实例。

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