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离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究

金杰  徐志潜  过骐千  王锦辉  明建川  李刘合  
【摘要】:利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多功能TiCN膜层。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层次晶态和非晶态复合结构;用划痕仪检测在膜层上划过的划痕十分平滑,可见该晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,具有较低的摩擦系数。

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