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反应离化团簇束法制备ZnO薄膜

杨种田  柯贤文  刘传胜  郭立平  付德君  
【摘要】:自行设计研制了一套反应离化团簇束制备ZnO薄膜的专门装置。用Hall等离子体源产生氧离子束和锌团簇离子。并在硅衬底上得到c轴取向,Zn、O原子百分比为 1:1的ZnO薄膜。

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1 杨种田;柯贤文;刘传胜;郭立平;付德君;;反应离化团簇束法制备ZnO薄膜[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
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