收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

离子束辅助沉积制备TiN/Si_3N_4纳米超硬膜的工艺研究

张平  杜月和  蔡志海  熊万全  谭俊  
【摘要】:本文采用离子束辅助沉积法在单晶硅片进行沉积制备了TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti/Si靶面积比等工艺参数对TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜性能的影响。并采用纳米硬度计、光电子能谱(XPS)和X射线衍射分析(XRD)方法研究了纳米复合薄膜的性能、成分与组织结构;采用扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的表面形貌,并初步探讨TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜的生长机理。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 孙延东;颜景岳;张帅;董磊;曹猛;刘梦寅;李德军;;离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB_2纳米多层膜的研究[J];天津师范大学学报(自然科学版);2011年03期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张平;杜月和;蔡志海;熊万全;谭俊;;离子束辅助沉积制备TiN/Si_3N_4纳米超硬膜的工艺研究[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
2 潘峰;曾飞;赵斌;;离子束辅助沉积非晶合金薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3 伍智;解永蓉;杨卫英;邹桂娟;曾敏;;离子束辅助沉积陶瓷-金属封接[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
4 苏康;邵天敏;;离子束辅助沉积制备TiAlSiN复合薄膜及其性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
5 谭俊;张平;蔡志海;王晓晴;唐云;;离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
6 王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积钯钇合金膜表面性能[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
7 张峰;范镝;高劲松;;碳化硅表面硅改性层的特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8 王和义;傅依备;韩军;;钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
9 王三胜;;离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10 王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积纳米钯钇合金膜性能[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
2 王程越;组织工程化骨修复兔下颌骨缺损同期种植体植入的实验研究[D];中国医科大学;2007年
3 戴伟;射频磁控溅射制备TiB_2超硬薄膜及其显微结构和性能的研究[D];华中科技大学;2011年
4 蒋军;微波管中抑制栅电子发射及其冷阴极的探索[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
5 张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
6 孔明;两相纳米结构薄膜中的模板效应与超硬效应[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 熊学辉;超硬纳米薄膜的显微结构特征及其对性能的影响[D];武汉理工大学;2003年
2 张晓东;超硬薄膜CN_x直流磁控反应溅射法的制备及性能研究[D];新疆大学;2002年
3 秦聪祥;钛基及锆基多元氮化物薄膜的组织与性能研究[D];广东工业大学;2006年
4 曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
5 开花;斜入射离子束辅助沉积类金刚石膜的模拟研究[D];内蒙古民族大学;2008年
6 郭德成;C_2在金刚石(111)表面吸附和离子束辅助沉积类金刚石膜的分子动力学模拟[D];内蒙古民族大学;2009年
7 杨伟声;离子束辅助沉积(IAD)真空镀膜技术研究[D];南京理工大学;2008年
8 刘金良;超硬Ti基多元氮化物薄膜的制备及性能与理论研究[D];兰州大学;2006年
9 鲁嘉;电子束蒸发制备抗激光损伤ZrO_2/SiO_2膜系及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
10 谭明;离子束辅助沉积ZrB_2/AlN和ZrB_2/WN_x纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 杨长明 庹新国;目标:瞄准未来海战[N];人民日报;2003年
2 杨长明 庹新国 本报记者 黄华敏;拼搏在新的起跑线上[N];解放军报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978