特种电真空器件离子源引出束流分布测量
【摘要】:采用CR-39径迹探测器技术和直接照相方法相结合,研究了某特种电真空器件离子源引出束流特性。得到了离子源引出束流在靶面上,以及该器件离子源加速间隙空间束流分布的一些初步结果。
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