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永磁微波离子源

宋执中  于金祥  郭之虞  明建川  袁忠喜  彭士香  王忠义  
【摘要】:本文介绍了2.45GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100×100mm,重量小于5kg.它可工作在脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500W、引出电压45kV及等离子体电极发射孔径为5mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强100mA,束流密度500mA/cm2:而对于直流模式,流强60mA,束流密度300mA/cm2.两种模式的质子比均可达80%,归一化均方根发射度小于0.1πmm.mrad。

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