磁过滤等离子体沉积和注入技术

【摘要】：正利用阴极真空弧放电技术,能够产生高密度的金属等离子体,经过90度的磁过滤器的金属等离子体,可以除去其中的大颗粒微粒,去掉大颗粒微粒的金属等离子体,是制备高质量的、致密的各种薄膜的一种新技术,利用该技术制备的薄膜具有非常广泛的应用。本文首先介绍了阴极真空弧放电技术的应用,然后介绍了一台磁过滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用。

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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张荟星;李强;;磁过滤等离子体沉积和注入技术[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
2	田修波;Paul K.Chu;杨士勤;;基于等离子体注入技术的复合表面处理[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3	郭少锋;林文雄;陆启生;陈燧;林宗志;黄见洪;林季鹏;郑晖;许灿华;史斐;李锦辉;;532nm单纵单横电光调Q脉冲激光器系统[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
4	田修波;杨士勤;Ricky Fu;Paul K.Chu;;基于等离子体注入技术的绝缘材料表面处理[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
5	张玉娟;吴志国;阎鹏勋;;磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
6	李春;崇二敏;张鹏举;李晓春;范晓彦;闫鹏勋;;铜掺杂非晶金刚石纳米点阵列的场发射性能研究[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
7	郭少锋;林文雄;陆启生;陈燧;林宗志;黄见洪;邓少永;朱永祥;;共振锁定式单纵单横脉冲激光器及其泵浦的高效固体相位共轭镜研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8	王慧强;庞永刚;贺劼;;关于事件注入用于网络可信性测评的几个关键指标[A];第三届中国测试学术会议论文集[C];2004年
9	李宗伟;陈林海;王雁萍;苏明杰;秦广雍;;低能离子束注入红色链霉菌的育种研究[A];2006中国微生物学会第九次全国会员代表大会暨学术年会论文摘要集[C];2006年
10	王勇;王婷婷;;基于故障注入的信息系统安全漏洞检测技术研究[A];全国计算机安全学术交流会论文集（第二十三卷）[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

前4条

1	庞永刚;基于事件注入技术的网络可信性评测研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
2	仉俊峰;星载计算机系统可靠性评测方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3	马海佳;聚合物驱分层注入技术研究[D];大庆石油学院;2008年
4	刘红侠;超薄栅氧化层经时击穿效应与可靠性仿真技术研究[D];西安电子科技大学;2001年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	崇二敏;铜掺杂类金刚石纳米尖点阵列研究[D];兰州大学;2007年
2	刘忠理;DCI异型测试装置的研制与改进[D];东南大学;2006年
3	唐嘉;基于事件注入的可信性评测工具的研究与实现[D];哈尔滨工业大学;2007年
4	熊华根;基于COTS的安全关键软件故障注入技术研究[D];华中师范大学;2007年
5	叶焰锋;基于故障模型的软件故障注入方法研究[D];华中师范大学;2008年
6	李娟;基于故障注入的软件安全测试技术研究[D];中国科学技术大学;2009年
7	王一鹏;等离子体浸没注入技术对半导体材料的改性研究[D];复旦大学;2010年
8	杨峰;单模2μm种子激光注入环形腔放大实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9	吕游;主机入侵保护技术研究[D];北方工业大学;2009年
10	安文利;基于JAVA字节码的反木马技术的研究[D];山东大学;2009年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	刘小革;我国核聚变研究中性束注入技术取得重大突破[N];四川日报;2000年
2	王明辉;沙特尝试开发重油资源[N];中国国土资源报;2006年
3	刘祥飞;大庆三次采油注入技术新成果效益显著[N];中国石油报;2008年
4	黄旭敏;美石油巨头新技术下注沙特重油资源[N];中国石化报;2006年
5	记者　刘祥飞王志田;大庆油田三采聚驱技术获得新突破[N];中国石油报;2006年
6	记者王志远;门源投入194万元支持四大示范区建设[N];青海日报;2005年
7	张楠;将收购乾安油田部分股权[N];中国证券报;2007年
8	记者田时胜杨春莲;钦州发展再次注入技术援助贷款[N];钦州日报;2008年
9	通讯员邹云波马超;罗家14井喜获高产气流[N];中国石油报;2005年
10	通讯员李新记者马启孝;污水替代清水配三采溶液[N];中国石化报;2002年

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