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磁过滤等离子体沉积和注入技术

张荟星  李强  
【摘要】:正 利用阴极真空弧放电技术,能够产生高密度的金属等离子体,经过90度的磁过滤器的金属等离子体,可以除去其中的大颗粒微粒,去掉大颗粒微粒的金属等离子体,是制备高质量的、致密的各种薄膜的一种新技术,利用该技术制备的薄膜具有非常广泛的应用。本文首先介绍了阴极真空弧放电技术的应用,然后介绍了一台磁过滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用。

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