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永磁冷阴极轴向缝引出PIG离子源

宋执中  于金祥  王忠义  赵渭江  
【摘要】:本文介绍了一种永磁冷阴极轴向缝引出的新型PIG离子源的设计、结构和初步实验结果。该原在放电功率低于100W情况下,O_2或N_2的束流大于10mA,O_2负离子束达mA级。

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