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钛/镍周期性多层膜低温互扩散的掠入射X射线荧光光谱研究

魏向军  徐清  
【摘要】:正掠入射X射线荧光光谱技术(Grazing Inci dence X-Ray Fluorescence,简称GI-XRF)是常规X 射线荧光光谱分析的一个新的分支,在薄膜、多层膜、表面及晶体表面沾污分析方面有其独特的优势。它既是无损快速的全元素分析,又可以对薄膜材料进行微结构(元素深度分布、厚度、密度、表面界面粗糙度)分析,因此在现代薄膜技术领域正在发挥其重要的作用。采用新自行研制的X射线掠入射荧光分析平

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