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等离子体辅助电子束物理气相沉积NiCoCrAlY涂层微观结构及高温氧化行为研究

何健  郭洪波  宫声凯  彭徽  
【摘要】:正MCrAlY涂层是目前热障涂层广泛采用的粘结层材料,其抗氧化性是影响热障涂层寿命的关键因素。而电子束物理气相沉积(Electron Beam Physical Vapor Deposition,EB-PVD)是制备MCrAlY涂层的最佳选择之一。本实验在普通EB-PVD工艺基础上引入等离子体,采用这种新的等离子体辅助电子束物理气相沉积(Plasma Activated Electron Beam

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