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磁控溅射Mo/Si/SiO2封装薄膜提高方钴矿材料的稳定性

夏绪贵  陈立东  李小亚  黄向阳  
【摘要】:正高温条件下热电发电器的方钴矿材料会发生升华。因而对方钴矿材料进行封装是十分必要的。本文通过磁控溅射的方法在方钴矿材料表面制备Mo/Si/SiO2多层致密且结合良好的薄膜。研究了多层薄膜在不同的升华温度与时间的条件下抑制方钴

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