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单根ZnO纳米/微米线基MESFET的构建及性能

李馨  齐俊杰  张骐  张跃  
【摘要】:正本文通过光刻法制作了金属钽(Ta)梳状电极,电极与ZnO纳米线之间形成欧姆接触。采用单根ZnO纳米线做沟道,利用纳米操控系统中的钨(W)探针与ZnO纳米线中部构成肖特基接触作为栅极,构建了金属半导体场效应晶体

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