收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

气离溅射离子镀制氮化钛

董骐  罗蓉平  张守忠  杜建  钟钢  田凯  文学春  刘祥武  
【摘要】:本文介绍了气体离子源增强磁控溅射(气离溅射)反应离子镀膜技术和系统配置,特别是首次提出空分气离溅射的新概念,实现了磁控溅射金属镀膜过程和气体离子轰击化学反应过程在真空室内空间上的分离,从而保证空分气离溅射反应离子镀膜过程的长时间稳定性、重复性和一致性。当磁控溅射源采用中频电源驱动、最新开发的气体离子源采用脉冲直流电源后,实现了最佳的设备组合,可镀制出高品质的TiN膜层。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;铝、镁等合金用氮化钛晶粒细化剂[J];铝加工;2011年04期
2 马晓艺;陈江波;黄光杰;;超高纯铝合金互连线及其溅射靶材[J];轻合金加工技术;2011年07期
3 李建丰;宋青;牛振川;刘林东;张福甲;;9,9′-联蒽/SiO_2表面及界面的AFM和XPS的研究[J];功能材料;2011年09期
4 向红亮;黄伟林;刘东;何福善;;29Cr超级双相不锈铸钢表面腐蚀XPS分析[J];腐蚀科学与防护技术;2011年04期
5 曾伟明;韩坤;张梅;李麟;;超高强度Ti微合金复相钢再结晶行为研究[J];材料科学与工艺;2011年03期
6 王金发;宋学全;张珂禹;;精密复杂高速钢刀具涂层技术分析[J];机械工程师;2011年07期
7 许岗;李高宏;介万奇;查刚强;;M/HgI_2接触特性分析[J];材料导报;2011年08期
8 康永;柴秀娟;;陶瓷复合装甲材料研究和发展[J];现代技术陶瓷;2011年02期
9 谭雪霏;张新;赵春波;;钛离子注入对AZ31镁合金表面力学性能及耐蚀性的影响[J];轻合金加工技术;2011年08期
10 苏向东;韩锋;何力;刘日光;黄亚励;郝维昌;王天民;;低温去合金化脱镍处理镍钛记忆合金的表面特性[J];稀有金属材料与工程;2011年08期
11 司红;王凯;朱衍勇;于广华;;Ni-Cr钢中P的非平衡晶界偏聚现象[J];金属热处理;2011年09期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 董骐;罗蓉平;张守忠;杜建;钟钢;田凯;文学春;刘祥武;;气离溅射离子镀制氮化钛[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
2 邵乐喜;黄惠良;;无Cd薄膜CuInS_2太阳电池的低成本全程溅射技术制作[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 王舟;王琦;张俊彦;;不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
4 陈琨;王志红;张金平;周宇;;倾斜溅射制备TbFe薄膜的磁力显微镜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
5 刘建华;徐可为;;溅射气压对ZrO_2薄膜微结构与光学性能的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
6 申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术[A];第七届全国激光科学技术青年学术交流会专辑[C];2003年
7 申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;双离子束溅射技术制备带通滤光片[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8 徐立海;杨炜;王聪;;射频磁控溅射技术制备IT-SOFC电解质材料GDC的研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
9 秦勇;朱勇;陈莉;李勇;张立得;;纳米NiTi合金的制备及结构[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
10 王波;王如志;黄安平;严辉;;磁控溅射AlN薄膜的制备及其结构特性研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
2 马万云;用于超微量和微区分析的SIRI-TOFMS装置的研制[D];清华大学;1987年
3 贾璐;非晶GaN薄膜的制备及性能和碳纳米管的LB排布[D];兰州大学;2009年
4 王玫;β-SiC薄膜的低温沉积及特性研究[D];北京工业大学;2002年
5 刘传胜;氮化碳纳米复合涂层摩擦磨损和耐水蚀研究[D];武汉大学;2004年
6 于仁红;TiO_2碳热还原氮化法制备TiN粉末及TiN-Al_2O_3复合材料研究[D];西安建筑科技大学;2005年
7 吴峻岭;新型牙用烤瓷支架钴铬合金金瓷结合的研究[D];四川大学;2005年
8 张焱;超导RFQ模型腔的铌溅射研究和V_3Si超导膜材制作工艺[D];中国原子能科学研究院;2000年
9 牟宗信;非平衡磁控溅射沉积系统放电特性和沉积TiN_x薄膜应用研究[D];大连理工大学;2006年
10 佟宇;纯钛铸件表面氮化处理的实验研究[D];第四军医大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙银洁;PET基氟碳膜形貌、结构及性能研究[D];青岛大学;2003年
2 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
3 张乃枝;溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究[D];武汉理工大学;2004年
4 路建军;PET基氟碳膜的表面形貌及结构研究[D];青岛大学;2002年
5 张西鹏;锆合金基体上直流磁控溅射铬膜组织与性能研究[D];四川大学;2003年
6 苏树发;锑及锑锡合金薄膜的电化学吸放锂性能研究[D];浙江大学;2005年
7 万真真;辉光放电等离子体激发源驱动控制电路设计[D];河北大学;2006年
8 黄开玉;中频孪生磁控溅射等离子体特性与氧化物薄膜沉积研究[D];大连理工大学;2005年
9 朱炎;外加磁场对平面磁控溅射的影响[D];苏州大学;2001年
10 李阳平;射频磁控溅射沉积薄膜的计算机模拟[D];西北工业大学;2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 印高乐;银系抗菌氮化钛镀膜可抑制金黄色葡萄球菌增殖[N];医药经济报;2003年
2 曹燕平;杜邦-帝人薄膜公司安装使用多功能OptiLab溅射蒸镀机[N];中国包装报;2006年
3 王琦 余华骏;低辐射镀膜玻璃的色差分析与检测[N];中国建材报;2005年
4 中国耀华玻璃集团公司技术中心主任 刘志海;镀膜玻璃生产工艺及注意事项[N];中国建材报;2004年
5 本报记者 冀卫平;钕铁硼,不要重蹈“煤”辙[N];山西日报;2001年
6 ;电阻应变式纳米膜压力传感器[N];科技日报;2004年
7 罗清岳;无机EL发展及技术状况(下)[N];电子资讯时报;2006年
8 张海波;东芝有“芯”查丙肝[N];医药经济报;2001年
9 George M. Wityak;靶材新兵:抗氧化银合金[N];中国建材报;2006年
10 上海 江子年;尚朋堂SR-1601A型电磁灶电路及检修[N];电子报;2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978