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纳米力学显微镜及其在薄膜材料研究中的应用

谢存毅  
【摘要】:正纳米力学显微镜是将近年来发展起来的纳米力学测试技术与最新的原位扫描成像技术接合起来的一种功能强大的研究工具或手段。利用该技术我们不仅可以获得薄膜材料的各种力学性能,还可以研究力学实验前后的表面形貌图像,以及实验过程造成的力学行为。该技术中的纳米压痕结合先进的连续刚度测量技术(Continuous Stiffness Measurements:美国MTS公司专利技术)可以在不用分离薄膜与基底材料的情况下直接获到薄膜材料的许多力学性质。例如硬度、弹性模量、断裂韧性、蠕变应力指数等等。

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