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微弧氧化与磁控溅射复合表面处理钛合金的耐磨性研究

童洪辉  金凡亚  
【摘要】:微弧氧化处理后的钛合金。表面形成的多微孔氧化膜可使其摩擦系数降低且耐磨性得到提高,但这还不能满足某些使用要求。我们成功地利用脉冲偏压式磁控溅射技术在微弧氧化处理后的钛合金表面沉积氮化钛涂层,发现经复合处理后,与微弧氧化后的钛合金相比,其摩擦系数进一步降低且耐磨性有了进一步提高,主要是沉积富钛氮化钛使氧化膜的微孔得到了部分或全封闭覆盖。

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