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基于等离子体注入技术的绝缘材料表面处理

田修波  杨士勤  Ricky Fu  Paul K.Chu  
【摘要】:正等离子体浸没离子注入由于无视线限制和高效处理优势而得到广泛重视。该技术的起源是为了金属材料表面优化改性而产生,后来在半导体材料制备,如SOI材料制备领域得到成功的商业应用。最近该技术在绝缘材料大面积改性处理以及等离子体中和效应方面也显示出较大的优势,得到越来越多重视。绝缘材料等离子体注入的难点是在材料表面获得等效的脉冲负电位。理论与实验研究表明:利用绝缘材料的容性效应以及栅网诱导效应可以成功地进行绝缘材料等离子体注入,当然还存在许多的技术难点需要

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