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电弧离子镀沉积富碳的TiC膜层的研究

宋贵宏  邹友生  陈立佳  李锋  王启民  宫骏  孙超  
【摘要】:制备TiC膜层时,在含碳气体含量较高情况下,沉积膜层中C和Ti的原子数量比会超过TiC晶体的理想配比,这表明,沉积膜中除了TiC相外,还有富碳相。这些富余碳的存在方式(Sp3或sp2杂化态),将对沉积膜的结构和性能产生很大的影响。

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