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Si掺杂对DLC薄膜结构和性能的影响

陈小锰  徐军  邓新绿  朴勇  高鹏  董闯  
【摘要】:正类金刚石(diamond-like carbon)膜是含有sp3键的非晶碳膜,具有许多与金刚石膜类似的优点,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、高电阻率、良好的化学稳定性和抗腐蚀能力以及红外透光性能,在机械、电子、光学、声学、计算机等领域具有广泛的应用前景。近年来,向DLC膜中添加其它元素(硅、氮

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