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钛酸锆铅薄膜二维铁电阵列制备

赵高扬  张卫华  赵桂荣  
【摘要】:本研究以乙酸铅(Pb(CH_5COOH)·3H_2O)、硝酸氧锆(ZrO(NO_3)_2·2H_2O)和钛酸丁酯(Ti(C_4H_9O)_4)为出发原料。以苯酰丙酮(BzAcH:C_6H_5COCH_2COCH_3)为螯合剂,甲醇为溶剂制备了感光性钛酸锆铅(PZT:Pb(Zr_(0.5)2Ti_(0.48))O_3)凝胶薄膜,利用凝胶薄膜自身的感光性结合双光束激光干涉法制备了PZT薄膜的二维阵列和二维格子,获得的阵列周期约1μm,格点尺寸约500nm。

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