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SiO_2薄膜及其微细图形制备新技术

赵桂荣  张卫华  赵高扬  胡雄伟  杨沁清  
【摘要】:SiO_2薄膜由于具有良好的透光性和低的光损耗性能,在光的分束合束、波分复用等集成光学及高精度光栅等元器件中具有重要应用。这类薄膜的光波导制备通常采用传统光刻或干法腐蚀,工序多、成本高,也准以达到更高的精度。本研究采用化学修饰结合溶胶-凝胶法制备出具有感光性的凝胶薄膜,进而制备出SiO_2薄膜的沟槽型微细图形。还研究了紫外光照对薄膜折射率的影响及随热处理温度的变化规律,提出了折射率变调型光栅制备新方法。

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