射频磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究
【摘要】:利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上成功地制备了透明的TiO_2薄膜。在保持Ar气和O_2气流量比固定的前提下,研究了溅射总压强对薄膜结构与带隙的影响。为了提高TiO_2薄膜的光催化活性,对其进行了离子注入Sn与表面修饰贵金属Au、Ag,结果表明离子注入Sn和表面修饰贵金属Au、Ag都有效地提高了其光催化活性。
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