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一种改进的CVD金刚石薄膜生长过程原子尺度三维仿真的动力学Monte Carlo方法

张禹  刘国权  秦湘阁  安希中  
【摘要】:动力学Monte Carlo(KMC)图形仿真方法通过结合金刚石薄膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石薄膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚石薄膜原子尺度生长过程。本文在介绍KMC方法的同时,分析了所存在问题,并对原有KMC方法加以改进,使之更准确地反映CVD金刚石薄膜原子尺度的生长规律。

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