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化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系非晶薄膜及其微细加工

赵桂荣  赵高扬  
【摘要】:本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备ZrO_2-SiO_2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了这种凝胶薄膜对紫外光的感光特性。即当紫外光照射薄膜后,薄膜在有机溶剂中的溶解特性会发生显著变化。这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO_2-SiO_2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类进行微细加工。

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