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Fe-Si-ZrO_2复合薄膜的制备及其性能研究

欧盛荃  毕晓昉  宫声凯  徐惠彬  
【摘要】:用电子束物理气相沉积(EB-PVD)的方法,制备了Fe-Si-ZrO_2复合薄膜,薄膜厚度为40μm。制备后利用真空炉对制备态复合薄膜在不同温度进行退火热处理,退火时间为60 min。用化学分析法、X射线衍射仪、振动样品磁强计(VSM)、标准四引线技术对复合薄膜的微观结构、磁特性以及电阻特性进行了研究。研究结果表明:制备态复合薄膜中Si相对于Fe的含量(质量分数)为2%,主要物相为α-Fe和ZrO_2,Si以固溶状态存在于α-Fe中,热处理后无新峰出现。热处理温度在300℃以上时,半高宽随热处理温度的上升呈下降趋势。矫顽力在200℃时为最小值,200℃以上时,则随温度的升高呈明显上升趋势。当温度为300℃以上时,电阻率随温度的上升而下降。

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