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CVD金刚石自支撑膜的高温氧化

刘敬明  家建华  张恒大  蒋政  唐伟忠  吕反修  
【摘要】:采用热重法(TGA)对直流等离子体喷射制备的金刚石膜在空气中的氧化行为进行了研究,CVD金刚石膜氧化激活能为220kJ/mol,与天然金刚石的氧化激活能相当。抛光的高质量金刚石膜经780℃保温15min后,其红外透过和可见光的透过率严重受损。扫描电子显微镜和台阶仪的结果表明:CVD金刚石膜的氧化的开始阶段主要集中在晶界、表面孔洞等缺陷处,随后金刚石膜的晶面被刻蚀,表面粗糙度增大,晶界瓦解,金刚石膜成为一个个柱状单晶粉末。

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