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脉冲偏压电弧离子镀低温沉积机理研究

黄美东  孙超  林国强  董闯  黄荣芳  闻立时  
【摘要】:从不同角度分析计算了脉冲偏压电弧离子镀过程中基体温度、离子轰击基体时微区的能量传输与转换及应力状态。结果表明,脉冲偏压离子镀可以实现低温沉积,而微区内出现高温高压过程,这对低温沉积机理可能具有重要影响。

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