离子注磷TiNi合金的表面形貌与相结构
【摘要】:用AFM、XPS及小掠角XRD等研究了等离子体基离子注磷(60kV,6.6×10~(17)cm~(-2))TiNi合金的表面形貌、成分和相结构。TiNi合金经注磷后表面形成大量直径数微米,深数百纳米的坑,坑壁光滑。表面成分主要是沉积的单质磷,该层厚约5nm;磷的注入深度约45nm,在此深度范围的次表层中,存在较多的钛和氧,镍含量则较少。这些元素以多种磷化钛、氧化钛及马氏体等多种相存在,基体为单一母相。
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