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光栅式疊對圖樣之最佳化設計

柯俊宏  盧聖華  徐得銘  顧逸霞  
【摘要】:角度散射儀(angular scatterometer)用於量測元件關鍵尺寸(critical dimension),具有次奈米的解析度與精確度,因而被視為次世代微影疊對量測(overlay metrology)的利器之一。由於光柵式疊對圖樣直接影響角度散射儀的量測靈敏度,本文將說明如何以嚴格耦合波理論(Rigorous Coupled Wave Theory)進行圖樣的幾何參數模擬設計,藉以得到最佳的疊對圖樣,使得量測系統具有最高的靈敏度。

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