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小型压电激励振动筒压力传感器

樊尚春  秦杰  刘广玉  
【摘要】:本文介绍在国内率先研制成功的一种压电激励、压电拾振的小振筒压力传感器。该振动筒压力传感器的敏感结构参数为:直径4mm、壁厚0.04mm、有效长度28mm;体积只有常规振动筒压力传感器的五分之一。该传感器的测量范围10~320kPa,工作温度范围-55~80℃。在20℃的环境温度下,针对实际样机的测试结果为:重复性0.006 5%FS(3σ);迟滞0.002 8%FS。

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